零件表面處理的方法很多，但由于電真空器件的特殊性，實用方法很少。它們大多來自經(jīng)驗和理論基礎(chǔ)的不足。因此，即使是典型的清洗方法也需要不斷地修改和補充。

   
在各種清洗方法中，化學(xué)處理是主要的方法，如電解、電解拋光和電鍍等電氣處理，當(dāng)通常的化學(xué)處理不能得到很好的預(yù)期效果或需要高度清潔的表面時，使用輔助處理方法。帶有非皂化油的金屬零件的高溫處理，金屬零件與非皂化油的接觸角沒有變化，表明高溫處理不能提高零件的表面清潔度，通過比較不同清洗方法的清洗效果，進行超聲波清洗。采用超聲波技術(shù)，將超聲波儀器加到脫油液中，加熱和超聲波的聯(lián)合作用不僅可以去除零件表面的油，而且可以去除其它雜質(zhì)，特別是對于精密、復(fù)雜的零件。

       超聲波清洗的具體過程，根據(jù)配方的比例，在超聲波中加入金屬清洗液，超聲波頻率25 kHz，溫度40～60℃，超聲波10～30分鐘，取出零件，再用自來水和純水依次沖洗。將容器置于超聲波中，超聲波5～10分鐘，取出部分，依次用自來水和純水，用酒精脫水，最后吹入氮氣柜。

    

       當(dāng)超聲波作用于清洗槽中的清洗液時，由于交變壓力的撕裂現(xiàn)象而產(chǎn)生真空氣泡，在負壓下迅速生長，并被壓力劑破壞，部分直接置于超聲波中。用金屬清洗劑。加熱可以增強液體的活化能力，降低粘度和表面張力和超聲空化的協(xié)同作用，使零件表面的油污染和雜質(zhì)更容易去除。 5～10分鐘，可去除零件表面的金屬清洗液和油渣。