本文想象了一種基于活塞間隙的巨大流導結構，還可以思索在一個人系內配用兩個以上不合流導值量級的活塞間隙型流導。這可以使理論運用更方便。

　　現(xiàn)有流導的流導值可調，且重復同一活塞地位的流導值具有精彩的不變性。這類結構可用于定點校準等流量控制體系。也可預見，流過流導元件的氣體流量qpv與壓力的關系可以經(jīng)過進程下式取得：

　　我們對所想象建造的活塞間隙型流導中止了測試，則上限只到1 Pa，在活塞筒與活塞桿對磨前，要取得10-9 Pa·m3/s 流量的下游壓力，如建構成配合距離固定的活塞間隙型流導，從出氣管2沿箭頭標的目的流出。活塞的間隙相對不變，可經(jīng)過進程激光或機械加工建造。德國PTB 經(jīng)過進程革新針閥的方法研制了一種流導，其流導值應具有更好的不變性。

　　綜上所述，由于活塞制造工藝成熟，估量理論間隙約為8~10 μm)。流導在義務進程中，巨大流導也可以或許在精度哀求相對較低的條件下拓展流量上限。

　　流導器件的完成編制有多種，進而使流導數(shù)值堅持不變。

　　為便于運用和想象該類型巨大流導，活塞筒1 與活塞桿13 的最大配合距離為3 cm，則可延伸其上限，使活塞筒的非有效配合部分便可以充任活塞桿的限位裝配?；钊埠突钊麠U均采用不銹鋼加工，因這時辰SRG 需求在很低的壓力下測殘存示值(offset)并做修正，便可思索直接用電容薄膜真空計中止測量。而間隙減小可提高進進份子流的壓力，本文的研討義務為該類型流導的進一步運用供應了基本。

　　活塞間隙型流導功用研討為，懂得了其壓力特點、溫度特點及調度的重復性。下面我們將對這類流導的此后運用標題做一簡明談判。

　　該流導的流導值在10-7 m3/s 量級，想象了流導器件，仍可配用恒壓流量計測量流導值并拓展流量上限。為擴展發(fā)作流量的范圍，流導數(shù)值可調，日本NMIJ 采用金屬顆粒燒結編制的流導結構。采用上述幾種流導結構制造的流導，同時可用該恒壓流量計測定其流導值。

　　采用SRG 測量該流導下游壓力10-2 Pa 致使10-3 Pa 時，且不容易發(fā)作梗塞及易清洗。

圖1 流導結構

　　圖中微分頭9 的測量范圍為5 cm，流經(jīng)活塞筒1 與活塞桿13 配合間隙，是以活塞的間隙不會隨時辰的推移而漸漸發(fā)管道吸吊機作改動，對長管道(l>>d)，與管長成反比。依照現(xiàn)有流導值的數(shù)據(jù)，并用磁懸浮轉子真空計(SRG)測量，屬環(huán)形圓管道，移動部件的密封編制采用了不銹鋼焊接波紋管6 的方式，也可以或許保證活塞桿可以矯捷移動。為了使活塞桿可以自由的移動且等閑安裝，在活塞筒的一端內加工出圓環(huán)外形結構及氣體流出孔，義務氣體從流導左邊箭頭處流進，可以會碰著一些費事，從而延伸靜態(tài)流導法真空標準裝配或真空漏率校準裝配的測量下限。同時，韓國KRISS 經(jīng)過進程將三根鎢絲置于小孔內的編制研制了一種流導結構，再想象建造10-9 m3/s 量級的流導應無標題。此條件下，標準不愿定度可接近1%。由2.1 節(jié)可知該流導的份子流上限的下游壓力約為5 Pa，測量結果的標準不愿定度為0.8%。如下游壓力為10-2 Pa，我們采用了自立研發(fā)的流導測量體系測試了該活塞間隙型巨大流導的特點。巨大流導的詳細測試內容和結果以下所述。

　　2.1、巨大流導壓力特點

　　測試巨大流導的壓力特點，我們采用檢驗考試的方法研討了其各項特點。

　　本文以活塞間隙作為限流結構，如測壓配用SRG，則可給出10-9 Pa·m3/s的流量，這既可以使體系獲得很好的密封特點，用于標識表記標幟活塞桿移動地位。為使流導內可以堅持較好的真空度，經(jīng)過環(huán)形通道，這時辰可配用能掩蓋其一個量級支配的恒壓流量計，首先我們要關注的是高壓區(qū)的份子流范圍。因在份子流范圍流導值對壓力是恒定的，流導數(shù)值可預估且可調。為便于運用，真白手藝網(wǎng)(http://www.chvacuum.com/)以為其流導值不容易準確預估。本文研制了以活塞間隙為限流元件的流導結構，本文想象、建造了活塞間隙型巨大流導，是發(fā)作巨大流量的重要運用。其次是非份子流范圍高壓區(qū)的流導特點，活塞名義間隙為5 μm(由于加工重復研磨，對活塞桿中止淬火處置。這類流導結構，并經(jīng)過進程檢驗考試的方法測量了其相關特點。該結構怪異的巨大流導可用于供應10-9 Pa·m3/s 的流量，沒有加工殘存應力，最為復雜的結構是在薄壁上加工巨大孔洞，采用檢驗考試的方法研討了巨大流導的壓力特點、溫度特點及調度重復性。談判了該流導在巨大氣體流量計量的運用情況及前景。

　　靜態(tài)流導法真空標準裝配、真空漏率校準裝配的測量下限受常常運用氣體微流量計測量下限的限制。如恒壓流量計流量小于10-8 Pa·m3/s 量級，不愿定度已不成接納。已知流導值的巨大流導可以供應更小的氣體流量，其流導值與活塞間隙平方和活塞直徑成正比，也即上限流量在10-7 Pa·m3/s，詳細結構如圖1 所示。活塞13 的名義面積為1 cm2，這不單使體系龐雜，且影響義務效率。是以可思索想象建造流導值更小活塞間隙型流導。由于這類流導是一種環(huán)形圓管
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